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能量色散X射線熒光光譜儀綜合了常規(guī)測試(普通模式)和*的光路系統(tǒng)測試(超銳模式)，普通模式能完成全元素，貴金屬，RoHS，鍍層等常規(guī)測試，超銳模式能對客戶比較關心的低含量元素進行測試。主要是使用儀器*超銳光路系統(tǒng)，降低儀器的背景噪音，提高儀器的檢出能力，從而提高儀器的整體檢測性能。
功能：
能量色散X射線熒光光譜儀是基于X射線的一種分析手段，當一束高能粒子與原子相互作用時，如果其能量大于或等于原子某一軌道電子的結合能，將該軌道電子逐出，形成一個空穴使原子處于激發(fā)態(tài)，由于激發(fā)態(tài)不穩(wěn)定，外層電子向空穴躍遷使原子恢復到平衡態(tài)，躍遷時釋放出的能量以輻射的形式放出便產生X熒光。X熒光具有特征的波長，對應的即是特征的能量，通過對光子的特征波長進行辨識，能實現(xiàn)對元素的定性分析，通過探測特征波長的X射線光子的強度，實現(xiàn)元素的定量和半定量分析。
基本原理
當能量高于原子內層電子結合能的高能X射線與原子發(fā)射碰撞時，驅逐出一個內層電子而出現(xiàn)一個空穴，使整個原子體系處于不穩(wěn)定的激發(fā)態(tài)，然后原子體系會由激發(fā)態(tài)自發(fā)的躍遷到能量低的狀態(tài)，這個過程稱為弛豫過程。弛豫過程既可以是非輻射躍遷，也可以是輻射躍遷。當較外層的電子躍遷到空穴時，所釋放的能量隨即在原子內部被吸收而逐出較外層的另一個次級光電子，此稱為俄歇效應，亦稱次級光電效應或無輻射效應，所逐出的次級光電子稱為俄歇電子。它的能量是特征的，與入射輻射的能量無關。當較外層的電子躍入內層空穴所釋放的能量不在原子內被吸收，而是以輻射形式放出，便產生X射線熒光。X射線熒光的能量或波長是特征性的，與元素有一一對應的關系。
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